收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CASME 1520—2024 中文标题 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层 英文标题 Semiconductor manufacturing protective coating on the surface of vacuum cavity parts 国际标准分类号 25.220.20 表面处理 中国标准分类号 A 29 国民经济分类 C336 金属表面处理及热处理加工 发布日期 2024年06月04日 实施日期 2024年06月20日 起草人 辛长林、金巨万、阚云 …
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