收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CMES 39004—2024 中文标题 半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范 英文标题 国际标准分类号 25.040.40 工业过程的测量和控制 中国标准分类号 国民经济分类 C419 其他未列明制造业 发布日期 2024年07月01日 实施日期 2024年08月01日 起草人 张洁、吴立辉、周亚勤、张朋、秦威、陈达、边旭、陈远明、吕凌志、缪小勇、 张启华、吕佑龙、汪俊亮、郑小虎、丁司懿。 起草单位 东华大学、上海应用技术大学、上海交通大学、 …