收录自团体标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/SICA 006—2024 中文标题 集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求 英文标题 General technical requirements for overhead hoist transfer system used in integrated circuit wafer factory 国际标准分类号 53.040.01 连续搬运设备综合 中国标准分类号 CCS J 70 国民经济分类 C356 电子和电工机械专用设备制造 发布日期 2024年06月07日 …
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