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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CASME 1520—2024 |
| 中文标题 | 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层 |
| 英文标题 | Semiconductor manufacturing protective coating on the surface of vacuum cavity parts |
| 国际标准分类号 | 25.220.20 表面处理 |
| 中国标准分类号 | A 29 |
| 国民经济分类 | C336 金属表面处理及热处理加工 |
| 发布日期 | 2024年06月04日 |
| 实施日期 | 2024年06月20日 |
| 起草人 | 辛长林、金巨万、阚云峰、李敏成、杨斌、郝俊、杜彪、黄启军、朱应高、韦孟德、汪文学、张峰 |
| 起草单位 | 安徽高芯众科半导体有限公司、苏州高芯众科半导体有限公司、合肥高芯众科材料科技有限公司 |
| 范围 | 本文件适用于半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层的缩略语、材料、喷涂工艺、技术要求、试验方法、涂层检验和喷涂记录。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国中小商业企业协会 |
| 登记证号 | 50001136-3/社证字第3320号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 杨斐 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区航空胡同32号 | 邮编 : 100035 |
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