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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CMES 39004—2024 |
| 中文标题 | 半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 25.040.40 工业过程的测量和控制 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C419 其他未列明制造业 |
| 发布日期 | 2024年07月01日 |
| 实施日期 | 2024年08月01日 |
| 起草人 | 张洁、吴立辉、周亚勤、张朋、秦威、陈达、边旭、陈远明、吕凌志、缪小勇、 张启华、吕佑龙、汪俊亮、郑小虎、丁司懿。 |
| 起草单位 | 东华大学、上海应用技术大学、上海交通大学、深圳优艾智合机器人科技有 限公司、上海轩田智能科技股份有限公司、上扬软件（上海）有限公司、通富微电子股份有限公司、 洪启集成电路（珠海）有限公司。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体晶圆制造智能工厂集成电路制造过程中生产物流调度涉及到的相关数据通用规范，包括架构、生产资源要求、基础数据模型、状态数据模型和物流调度业务过程数据模型。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国机械工程学会 |
| 登记证号 | 4374 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 国际合作 书刊编辑 专业展览 业务培训 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 陆大明 |
| 依托单位名称 | 无 |
| 通讯地址 | 北京市海淀区首体南路9号4楼11层 | 邮编 : 100048 |
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