T_CPCIF 0334—2024 电子工业用气体 氟氮混合气-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CPCIF 0334—2024 |
| 中文标题 | 电子工业用气体 氟氮混合气 |
| 英文标题 | Gases for the electronics industry—Fluorine nitrogen mixture |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | G 86 |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2024年03月01日 |
| 实施日期 | 2024年06月01日 |
| 起草人 | 刘春花、阎晓冬、刘欣、丁勇、吴俊、徐清钢、郭秋雨、周锋、赵斌、张蒙、肖旺钏、付铁柱、毛玲玲、汤萍、应韵进、王新喜、潘华杰、李安林、彭雪丽。 |
| 起草单位 | 福建永晶科技股份有限公司、洛阳森蓝化工材料科技有限公司、四川红华实业有限公司、山东华夏神舟新材料有限公司、岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、福建三明金氟化工科技有限公司、三明学院、浙江博瑞中硝科技有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建省建阳金石氟业有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、上海云必科技有限公司、北京国化新材料技术研究院有限公司、天津环材标准化服务有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了电子工业用氟氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟，与氮气混合配制而成的电子工业用氟氮混合气。 |
| 主要技术内容 | 项目 氟（F2）含量（体积分数）/10-2 氮（N2）含量（体积分数）/10-2 氧（O2）含量（体积分数）/10-6 四氟化碳（CF4）含量（体积分数）/10-6 六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 氟化氢（HF）含量（体积分数）/10-6 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国石油和化学工业联合会 | ||
| 登记证号 | 51100000500002715X | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业管理 专业展览 业务培训 成果鉴定 书刊编辑 国际合作 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 傅向升 | ||
| 依托单位名称 | 中国石油和化学工业联合会 | ||
| 通讯地址 | 北京市朝阳区安慧里四区十六号楼 | 邮编 : 100723 | |