T_CSEA 26—2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技术条件-团体标准

标准详细信息
标准状态	现行
标准编号	T/CSEA 26—2023
中文标题	电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技术条件
英文标题	Technical specification of 8YSZ target for Electron Beam Physical Vapor Deposition
国际标准分类号	25.220.01 表面处理和镀涂综合
中国标准分类号
国民经济分类	C336 金属表面处理及热处理加工
发布日期	2023年02月07日
实施日期	2023年03月01日
起草人	何箐、邹晗、王世兴、王璐、彭徽。
起草单位	北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学。
范围	本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。
主要技术内容	表1　8YSZ陶瓷靶材成分及杂质含量化学成分/wt. % 主成分含量　杂质含量 Y2O3+ZrO2(HfO2)　HfO2　Y2O3　Al2O3　Fe2O3　SiO2　TiO2　CaO　MgO　Cl-　碳残留 ≥99.65　<2　7-8　≤0.02　≤0.02　≤0.02　≤0.02　≤0.02　≤0.02　≤0.06　≤0.15
是否包含专利信息	否
标准文本	查看

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T_CSEA 26—2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件-团体标准