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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/DLSHXH 015—2024 |
| 中文标题 | 电子气体 乙硼烷/氮气混合气体 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2024年08月01日 |
| 实施日期 | 2024年11月01日 |
| 起草人 | 施旖旎、王明月、李庆东、张哲、于洪涛、阮树堃、张英达 |
| 起草单位 | 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会、全椒科利德电子材料有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了电子气体乙硼烷/氮气混合气体的技术要求、制备、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存、运输及安全信息。
本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的乙硼烷/氮气混合气体。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 大连市石油和化工行业协会 |
| 登记证号 | 51210200732781113W | 发证机关 | 辽宁省大连市民政局 |
| 业务范围 | 技术改造、评估、质量管理监督、业务培训、咨询服务等 |
| 法定代表人/负责人 | 孙瑞玉 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 大连市西岗区长春路171号 大连商会大厦817室 | 邮编 : 116000 |
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