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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/GVS 014—2024 |
| 中文标题 | 半导体设备用低温泵评价规范 |
| 英文标题 | Evaluation specification for cryogenic vacuum pumps used in semiconductor equipment |
| 国际标准分类号 | 23.160 |
| 中国标准分类号 | J 78 |
| 国民经济分类 | M745 质检技术服务 |
| 发布日期 | 2024年08月02日 |
| 实施日期 | 2024年08月02日 |
| 起草人 | 胡湘娥、黎树中、李晓刚、叶俊文、王鹏程、胡勇、王楠茜、陈淑曲、余彦飞、肖永能、林涛、欧慧敏。 |
| 起草单位 | 中山凯旋真空科技股份有限公司、上海纳乇真空技术有限公司、中国科学技术大学、散裂中子源科学中心、中山市深中标准质量研究中心、佛仪科技（佛山）有限公司、佛山力合创新中心有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。 |
| 主要技术内容 | 规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 广东省真空学会 |
| 登记证号 | 51440000C03634807L | 发证机关 | 广东省民政厅 |
| 业务范围 | 学术交流，科普宣传，信息咨询，技术服务。 |
| 法定代表人/负责人 | 刘彭义 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 广州市天河区黄埔大道西601号暨南大学理工学院320房 | 邮编 : 510632 |
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