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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZGM 005—2024 |
| 中文标题 | 半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求 |
| 英文标题 | Technical specifications of ion exchange resin in cation/anion tower for pretreatment process of ultrapure water in semiconductors industr |
| 国际标准分类号 | 07.060 |
| 中国标准分类号 | J77 |
| 国民经济分类 | C292 塑料制品业 |
| 发布日期 | 2024年05月24日 |
| 实施日期 | 2024年05月31日 |
| 起草人 | 钱平，胡锦强，张力，双陈冬，张烨鹏，杨奇，王钊，张优慰，殷梓卿 |
| 起草单位 | 江苏苏青水处理工程集团有限公司，宁波争光树脂有限公司，西安蓝晓科技新材料股份有限公司，南京大学，鹤壁市海格化工科技有限公司，蚌埠市天星树脂有限责任公司，中国船舶集团有限公司第七一九研究所，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司。 |
| 范围 | 本文件适用于半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国膜工业协会 |
| 登记证号 | 50001821-5 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业管理 信息交流 技术培训 专业展览 国际交流 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 高建军 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区北三环东路19号 | 邮编 : 100029 |
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