T_ZGM 006—2024 半导体行业超纯水工艺制程混床用离子交换树脂产品认证技术要求-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/ZGM 006—2024
中文标题  半导体行业超纯水工艺制程混床用离子交换树脂产品认证技术要求
英文标题  Technical specifications of ion exchange resin in mixed bed for make up process of ultrapure water in semiconductors industry
国际标准分类号  07.060
中国标准分类号  J77
国民经济分类  C292 塑料制品业
发布日期  2024年05月24日
实施日期  2024年05月31日
起草人  胡锦强,钱平,张力,张志国,王莎莎,帅新远,双陈冬,杨奇,杨羽庭,张优慰,王宸。
起草单位  宁波争光树脂有限公司,江苏苏青水处理工程集团有限公司,西安蓝晓科技新材料股份有限公司,河北利江生物科技有限公司,山东德川化工科技有限责任公司,浙江普尔树脂有限公司,南京大学,蚌埠市天星树脂有限责任公司,中国船舶集团有限公司第七一九研究所,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司。
范围  本文件适用于半导体行业超纯水制备用的制程混床用离子交换树脂。
主要技术内容  本文件规定了半导体行业超纯水制备用的制程混床用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开
团体详细信息
团体名称中国膜工业协会
登记证号50001821-5发证机关中华人民共和国民政部
业务范围行业管理 信息交流 技术培训 专业展览 国际交流 咨询服务
法定代表人/负责人高建军
依托单位名称
通讯地址北京市朝阳区北三环东路19号邮编 : 100029

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