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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZJCX 0043—2024 |
| 中文标题 | 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟 |
| 英文标题 | Graphite boat for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | Q 51 |
| 国民经济分类 | C309 石墨及其他非金属矿物制品制造 |
| 发布日期 | 2024年07月23日 |
| 实施日期 | 2024年07月24日 |
| 起草人 | 周志强、陆斌、王军、李祥、鲍宪钧、张力、何亮、蔡帅、李志恒、马二克、胡平安、林龙玉、魏延召、赵世梁、姜昌星、翟民、赵俊通、樊少璞、任帅许、翟茜、宋晓珂、张阳、卢彬、殷静 |
| 起草单位 | 浙江华熔科技有限公司、合肥大恒智慧能源科技有限公司、赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司、润马光能科技（金华）有限公司、平顶山东方碳素股份有限公司、河南五星新材科技股份有限公司、浙江华照半导体材料有限公司、山西博翔汇良新材料有限公司、平顶山市博翔碳素有限公司、苏州兆恩精密仪器有限公司、宜兴市希羽陶瓷有限公司、浙江亿值旺新材料科技有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 浙江省企业技术创新协会 |
| 登记证号 | 513300005018783137 | 发证机关 | 浙江省民政厅 |
| 业务范围 | 行业指导、统计分析、对外交流、出版刊物、培训咨询。 |
| 法定代表人/负责人 | 夏焱 |
| 依托单位名称 | 浙江省经济和信息化厅 |
| 通讯地址 | 浙江省杭州市西湖区天目山路50号 | 邮编 : 310012 |
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