收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/STIC 110096—2024 中文标题 半导体用多级罗茨干式真空泵 英文标题 Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor 国际标准分类号 23.160 中国标准分类号 J 78 国民经济分类 C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造 发布日期 2024年01月01日 实施日期 2024年01月01日 起草人 付娜、陈峰、彭申、曹雪妹、郑庆伟、吴俊峰、柯俊良、吴少坤、宋来富、张毅。 起草单位 上海汉钟精机股份有 …