收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/SZBX 178—2024 中文标题 激光直写光刻设备 英文标题 Laser direct writing lithography equipment 国际标准分类号 31.260 中国标准分类号 L 97 国民经济分类 C404 光学仪器及眼镜制造 发布日期 2024年07月29日 实施日期 2024年07月30日 起草人 本文件主要起草人：张雷、朱亮、高安、刘栋、惠志婷、马贝贝。 起草单位 本文件起草单位：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司、源能智创（江苏）半导体有限公 …