收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/GVS 015—2024 中文标题 远程等离子体源的解离率测试方法 英文标题 Test method for dissociation rate of remote plasma source 国际标准分类号 71.040.99 有关分析化学的其他标准 中国标准分类号 N 51 国民经济分类 M745 质检技术服务 发布日期 2024年10月10日 实施日期 2024年10月10日 起草人 胡强、陈泽廷、郭晓东、杨振怀、黄星星、苏垦英、肖永能、郭远军、何斌、黎天韵、张清培、 …