收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CHPSA YY005—2024 中文标题 半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求 英文标题 Technical specification for contamination and surface roughness of wet components made of ultrapure polymer materials used in semiconductor processing 国际标准分类号 23.020.01 流体存储装置综合 中国标准分类 …
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