收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CITS 159—2024 中文标题 等离子体用射频电源技术规范 英文标题 Technical specification of RF generator for plasma 国际标准分类号 31.220.01 机电元件综合 中国标准分类号 国民经济分类 C397 电子器件制造 发布日期 2024年10月22日 实施日期 2024年10月22日 起草人 张新军、朱光辉、朱国俊、杨小春、金小越、李俊、吴林晟、周义兴、李贺、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、徐敬铭、包瑾、徐琳 起 …