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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CCGA 90004—2023 |
| 中文标题 | 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法 |
| 英文标题 | Protocol for measuring destruction or removal efficiency (DRE) of point-of-use abatement equipment in pan-semiconductor |
| 国际标准分类号 | 13.020.40 污染、污染控制和保护 |
| 中国标准分类号 | E 25 |
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 |
| 发布日期 | 2023年12月18日 |
| 实施日期 | 2024年01月18日 |
| 起草人 | 朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威偉 |
| 起草单位 | 埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国）有限公司、中国电子气体生产与利用百人会 |
| 范围 | 本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。
本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它
仪器可参考执行。 |
| 主要技术内容 | 本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它
仪器可参考执行。 |
| 是否包含专利信息 | 是 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国工业气体工业协会 |
| 登记证号 | 51100000500002459D | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律 业务培训 专业展览 书刊编辑 技术交流 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 洑春干 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区惠新南里6号天建大厦二层 202室 | 邮编 : 100029 |
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