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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CEMIA 043—2024 |
| 中文标题 | 集成电路扩散设备用石英外管 |
| 英文标题 | Quartz outer tubes for integrated circuit diffusion equipment |
| 国际标准分类号 | 81.040.30 玻璃产品 |
| 中国标准分类号 | Q35 |
| 国民经济分类 | C305 玻璃制品制造 |
| 发布日期 | 2024年11月05日 |
| 实施日期 | 2025年01月15日 |
| 起草人 | 杨军、汪俊、张甲宏、郑明山、黄书君、王慧、钱卫刚、秦卫光、叶国闽、宋贤、高君、李来斌、周文华、蓝呈、张娟、张忠恕、盛文彬、沈根法、孔凡昌、汤芳、卫令中 |
| 起草单位 | 浙江富乐德石英科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、上海强华实业股份有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、北京凯德石英股份有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司 |
| 范围 | 本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于集成电路制造工艺用12英寸及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品。 |
| 主要技术内容 | 外观质量、尺寸偏差、倒角偏差、形位偏差、角度偏差、表层杂质元素含量、应力、密封面泄漏率、密封面卷边 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国电子材料行业协会 |
| 登记证号 | 51100000500003195B | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业管理，信息交流，业务培训，国际合作，咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 潘林 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区胜古中路2号院5号楼金基业大厦711/716室 | 邮编 : 100029 |
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