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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CHPSA YY004—2024 |
| 中文标题 | 超洁净气动波纹管泵 |
| 英文标题 | Ultraclean pneumatic drive bellows pump |
| 国际标准分类号 | 23.020.01 流体存储装置综合 |
| 中国标准分类号 | 中国 |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2024年11月01日 |
| 实施日期 | 2024年12月01日 |
| 起草人 | 傅新、胡亮、苏芮、杨军、张翼飞、薛飞、袁仕芳、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、苗涛、李东升、傅文凯、张仕成、庄海云、李松松、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、李春华、付华 |
| 起草单位 | 浙江启尔机电技术有限公司、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国液压气动密封件工业协会 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了超洁净气动波纹管泵的泵结构、型号及参数、基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国液压气动密封件工业协会 |
| 登记证号 | 51100000500000867G | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律 技术交流 专业展览 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 赵曼琳 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区教场口街1号院2号楼200房间 | 邮编 : 100120 |
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