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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CHPSA YY005—2024 |
| 中文标题 | 半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求 |
| 英文标题 | Technical specification for contamination and surface roughness of wet components made of ultrapure polymer materials used in semiconductor processing |
| 国际标准分类号 | 23.020.01 流体存储装置综合 |
| 中国标准分类号 | 中国 |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2024年11月01日 |
| 实施日期 | 2024年12月01日 |
| 起草人 | 苏芮、傅新、胡亮、杨军、张翼飞、徐文苹、李春华、常燕、郝萍、赵美慧、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、苗阵、李东升、古智扬、张仕成、庄海云、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、付华 |
| 起草单位 | 浙江启尔机电技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、中国液压气动密封件工业协会 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体超纯聚合物过流部件污染物检测方法及表面粗糙度技术要求、数据整理与检测报告等。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国液压气动密封件工业协会 |
| 登记证号 | 51100000500000867G | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律 技术交流 专业展览 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 赵曼琳 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区教场口街1号院2号楼200房间 | 邮编 : 100120 |
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