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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CIET 604—2024 |
| 中文标题 | 电子特气提纯设计工艺方法 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
| 发布日期 | 2024年08月14日 |
| 实施日期 | 2024年08月14日 |
| 起草人 | 李群生、李强强、王莉君、赵晓兰、赵洪康、黄英、王乐强、周平、潘佳伟、苏子杰、刘岩、吴永利、汪贤峰、雷晓飞、徐敬铭、包瑾、晨萌。 |
| 起草单位 | 北京化工大学、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、杭州贝斯特气体有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。
本文件适用于电子特气提纯设计工艺。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了电子特气提纯设计工艺的基本要求、技术要求、环境要求、检验检测和应急处理。
本文件适用于电子特气提纯设计工艺。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国国际经济技术合作促进会 |
| 登记证号 | 51100000500012876L | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 理论研究 技术交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 杨连子 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市通州区经海五路1号院45号楼1层5-101 | 邮编 : 101111 |
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