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标准详细信息 |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/CIET 776—2024 |
中文标题 | 半导体用特种气体技术要求 |
英文标题 | |
国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 |
中国标准分类号 | |
国民经济分类 | C266 专用化学产品制造 |
发布日期 | 2024年11月13日 |
实施日期 | 2024年11月13日 |
起草人 | 吴永利、徐新华、李强强、周锋、朱万良、王敏、赵晓兰、王敏华、沈俊、马彬淇、杜洪龙、王云峰、王乐强、陈圆圆、彭昆鹏、尚修娟、赵燕、刘丹、陈昊、徐聪、刘岩、汪贤峰、许艳晶、徐敬铭、包瑾、刘璐。 |
起草单位 | 通标中研标准化技术研究院(北京)有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司、上海韩科科技有限公司、无锡恒大电子科技有限公司、浙江英德赛半导体材料股份有限公司、金宏气体股份有限公司、宁夏胜蓝化工环保科技有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、正帆科技(湖州)有限公司、途邦认证有限公司。 |
范围 | 本文件规定了半导体用特种气体的术语和定义、分类、通用要求、技术要求及标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体用特种气体。 |
主要技术内容 | 本文件规定了半导体用特种气体的术语和定义、分类、通用要求、技术要求及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体用特种气体。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
团体详细信息 |
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团体名称 | 中国国际经济技术合作促进会 |
登记证号 | 51100000500012876L | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
业务范围 | 理论研究 技术交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
法定代表人/负责人 | 杨连子 |
依托单位名称 | |
通讯地址 | 北京市通州区经海五路1号院45号楼1层5-101 | 邮编 : 101111 |
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