收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CITS 159—2024 |
| 中文标题 | 等离子体用射频电源技术规范 |
| 英文标题 | Technical specification of RF generator for plasma |
| 国际标准分类号 | 31.220.01 机电元件综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 |
| 发布日期 | 2024年10月22日 |
| 实施日期 | 2024年10月22日 |
| 起草人 | 张新军、朱光辉、朱国俊、杨小春、金小越、李俊、吴林晟、周义兴、李贺、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、徐敬铭、包瑾、徐琳 |
| 起草单位 | 中国科学院合肥物质科学研究院、安徽曦融兆波科技有限公司、江苏神州半导体科技有限公司、深圳市瀚强科技股份有限公司、北京市科学技术研究院、成都德芯数字科技股份有限公司、上海交通大学、深圳市新凯来工业机器有限公司、江阴市天马电源制造有限公司、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司 |
| 范围 | 本文件规定了等离子体用射频电源的产品分类、技术要求、设计要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。
本文件适用于各种工业和科研等离子体应用场景。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了等离子体用射频电源的产品分类、技术要求、设计要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。
本文件适用于各种工业和科研等离子体应用场景。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国检验检测学会 |
| 登记证号 | 51100000088551172E | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 理论研究 专业培训 国际合作 咨询服务 展览展示 |
| 法定代表人/负责人 | 夏扬 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区麦子店街22号楼 | 邮编 : 100125 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。