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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/EDASQUARE 005—2023 |
| 中文标题 | 晶圆级电性参数测试数据格式 |
| 英文标题 | Wafer Level Electrical Parametric Test Data Format Standard |
| 国际标准分类号 | 31.200 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | I6520 集成电路设计 |
| 发布日期 | 2023年09月10日 |
| 实施日期 | 2023年09月10日 |
| 起草人 | 陈岚，陈弼梅，李淼，王博，沈忱，张锋，周永星，赵永林，菅端端，曹宇，肖韩，邵康鹏，章英杰，姚林，王亚丽，孟晓东，刘云举，陆梅君，王自强，石凯，张薇，刘舒宁，靳小利，董哲，孙忠，薛景星，温松辑，刘晓明，彭涛，曹荣根，陈容。 |
| 起草单位 | 中国科学院微电子研究所，杭州广立微电子股份有限公司，概伦电子股份有限公司，深圳海思半导体有限公司，墨研计算科学(南京)有限公司，中芯北方集成电路制造（北京）有限公司，北京华大九天科技股份有限公司，全芯智造技术有限公司，中国电子工业标准化技术协会，鸿之微科技(上海)股份有限公司，北京大学信息技术高等研究院。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体集成电路制造中的参数电性测试数据文件，并且对文件中的数据格式、数据框架结构、数据类型、数据项设置做了定义，适用于制造类电子自动化设计软件中所涉及的参数电性测试数据。
主要内容包括：数据文件的语法，框架结构，数据文件格式包括数据开头、版本信息、数据类型、应用类型、用户信息、产品信息、产品批次信息、测试环境信息、模型信息、工作模式信息、设备信息、探测信息、位置信息、结构几何信息、测试信息、参数信息、安全信息、完整性校验信息、测试数据内容、单测试项的统计信息、整体测试总统计信息，应用需求，数据文件的形式等内容。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 上海电子设计自动化发展促进会 |
| 登记证号 | 51310000MJ4905543H | 发证机关 | 上海市民政局 |
| 业务范围 | 开展电子设计自动化及相关领域的调查研究，技术创新，编辑出版，标准制定，测试评价，培训与交流，展览展示，承接相关委托事项。（涉及行政许可的，凭许可证开展业务） |
| 法定代表人/负责人 | 郑云升 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 上海市浦东新区龙东大道3000号1幢裙房217-08室 | 邮编 : 201203 |
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