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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/GVS 015—2024 |
| 中文标题 | 远程等离子体源的解离率测试方法 |
| 英文标题 | Test method for dissociation rate of remote plasma source |
| 国际标准分类号 | 71.040.99 有关分析化学的其他标准 |
| 中国标准分类号 | N 51 |
| 国民经济分类 | M745 质检技术服务 |
| 发布日期 | 2024年10月10日 |
| 实施日期 | 2024年10月10日 |
| 起草人 | 胡强、陈泽廷、郭晓东、杨振怀、黄星星、苏垦英、肖永能、郭远军、何斌、黎天韵、张清培、黄小婵、朱国俊、潘小刚、乐卫平、金名亮、刘涛、林桂浩、林伟群、何志军、张文杰、卫红。 |
| 起草单位 | 季华实验室、江苏神州半导体科技有限公司、华南师范大学、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试。 |
| 主要技术内容 | 规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 广东省真空学会 |
| 登记证号 | 51440000C03634807L | 发证机关 | 广东省民政厅 |
| 业务范围 | 学术交流，科普宣传，信息咨询，技术服务。 |
| 法定代表人/负责人 | 刘彭义 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 广州市天河区黄埔大道西601号暨南大学理工学院320房 | 邮编 : 510632 |
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