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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/STIC 110096—2024 |
| 中文标题 | 半导体用多级罗茨干式真空泵 |
| 英文标题 | Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor |
| 国际标准分类号 | 23.160 |
| 中国标准分类号 | J 78 |
| 国民经济分类 | C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造 |
| 发布日期 | 2024年01月01日 |
| 实施日期 | 2024年01月01日 |
| 起草人 | 付娜、陈峰、彭申、曹雪妹、郑庆伟、吴俊峰、柯俊良、吴少坤、宋来富、张毅。 |
| 起草单位 | 上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有限公司、上海市检验检测认证协会。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 上海市检验检测认证协会 |
| 登记证号 | 513100005017811325 | 发证机关 | 上海市民政局 |
| 业务范围 | 政策宣传；调查研究；业内自律与协调；培训与技术咨询；会员服务；交流合作；接受政府委托开展认证认可和检验检测相关业务工作。（涉及行政许可的，凭许可证开展业务）。 |
| 法定代表人/负责人 | 刘健 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 上海市普陀区武宁路509号1102-1103室 | 邮编 : 200063 |
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