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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/SZBX 178—2024 |
| 中文标题 | 激光直写光刻设备 |
| 英文标题 | Laser direct writing lithography equipment |
| 国际标准分类号 | 31.260 |
| 中国标准分类号 | L 97 |
| 国民经济分类 | C404 光学仪器及眼镜制造 |
| 发布日期 | 2024年07月29日 |
| 实施日期 | 2024年07月30日 |
| 起草人 | 本文件主要起草人：张雷、朱亮、高安、刘栋、惠志婷、马贝贝。 |
| 起草单位 | 本文件起草单位：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司、源能智创（江苏）半导体有限公司、中国质量认证中心有限公司、苏州市质量和标准化院。 |
| 范围 | 本文件适用于单面PCB板制造等场景用的激光直写光刻设备(以下简称光刻设备)。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了激光直写光刻设备的分类与编码/构成、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 苏州市标准化协会 |
| 登记证号 | 51320500509769904F | 发证机关 | 苏州市民政局 |
| 业务范围 | 详见《章程》 |
| 法定代表人/负责人 | 李平 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 苏州市民治路5号 | 邮编 : 215000 |
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