T_ACCEM 456—2024 离子辅助沉积用射频离子源-团体标准

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标准详细信息
标准状态  现行
标准编号  T/ACCEM 456—2024
中文标题  离子辅助沉积用射频离子源
英文标题  
国际标准分类号  71.100.20 工业气体
中国标准分类号  
国民经济分类  C265 合成材料制造
发布日期  2024年12月17日
实施日期  2024年12月31日
起草人  陈晓东、张志勇、焦宏飞、付秀华、王奔、段微波、林兆文、潘永刚、董所涛、张明、王红、马孜、熊仕富、石澎、陈建华、宋治平、汤兆胜、唐乾隆、李全民、闪雷雷、楼雪峰、陆锦惠、康军、高虹、王勇、刘宸佳、战永刚、徐川、卢成、宋书伟、刘毅楠
起草单位  常州鑫立离子技术有限公司、同济大学、长春理工大学中山研究院、中国科学院上海技术物理研究所、中山吉联光电科技有限公司、广东长理精讯光电科技有限公司、上海葛西光学科技有限公司、西南技术物理研究所、天津理工大学、中山火炬职业技术学院、江苏曙光光电有限公司、南京茂莱光学科技股份有限公司、江西兆九光电技术有限公司、江苏北方湖光光电有限公司、南京波长光电科技股份有限公司、大鼎光学薄膜(中山)有限公司、上海鸿辉光联通信技术有限公司、成都兴南真科科技有限责任公司、四川四盛真空设备有限公司、江苏索腾真空科技有限公司、深圳市三束镀膜技术有限公司、巨玻固能(苏州)薄膜材料有限公司、成都国泰真空设备有限公司、江阴迪科真空科技有限公司、苏州文迪光电科技有限公司
范围  
主要技术内容  本文件规定了离子辅助沉积用射频离子源的产品参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、包装、运输和贮存。
本文件适用于离子辅助沉积用射频离子源的生产和检验。
是否包含专利信息  
标准文本  不公开
团体详细信息
团体名称中国商业企业管理协会
登记证号社证字第3347号发证机关中华人民共和国民政部
业务范围行业管理、信息交流、业务培训、展览展示、书刊编辑、国际合作、咨询服务
法定代表人/负责人刘育才
依托单位名称
通讯地址北京市复兴门内大街45号邮编 : 100801

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