收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CIET 940—2024 中文标题 半导体薄膜沉积设备技术规范 英文标题 国际标准分类号 23.160 中国标准分类号 国民经济分类 C356 电子和电工机械专用设备制造 发布日期 2024年12月31日 实施日期 2024年12月31日 起草人 林兴、廖海涛、王世宽、聂翔、QUAN FENG、朱昆、赵公魄、黎微明、李树瑜、陈建、李俊、陈晓东、郭钰、高培培、刘丹、宋永辉、张丛、李长辉、陈惠君、周仁、何磊、张振兴、张明、孙妙、王传道、国政、WU DANIEL MINGXU、 …