收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CASME 1846—2024 中文标题 半导体设备零配件清洗技术规范 英文标题 Technical specification for cleaning of semiconductor equipment components 国际标准分类号 31.080.01 半导体器分立件综合 中国标准分类号 L 40 国民经济分类 C398 电子元件及电子专用材料制造 发布日期 2024年12月25日 实施日期 2024年12月31日 起草人 张忠华、郝振兴、魏宏准 起草单位 苏 …