收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/ACCEM 456—2024 中文标题 离子辅助沉积用射频离子源 英文标题 国际标准分类号 71.100.20 工业气体 中国标准分类号 国民经济分类 C265 合成材料制造 发布日期 2024年12月17日 实施日期 2024年12月31日 起草人 陈晓东、张志勇、焦宏飞、付秀华、王奔、段微波、林兆文、潘永刚、董所涛、张明、王红、马孜、熊仕富、石澎、陈建华、宋治平、汤兆胜、唐乾隆、李全民、闪雷雷、楼雪峰、陆锦惠、康军、高虹、王勇、刘宸佳、战永刚、徐川、卢成、宋书伟、 …