收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CIET 941—2024 中文标题 半导体刻蚀设备 英文标题 国际标准分类号 31.200 中国标准分类号 国民经济分类 C356 电子和电工机械专用设备制造 发布日期 2024年12月31日 实施日期 2024年12月31日 起草人 廖海涛、林兴、赵公魄、朱昆、杨友明、李树瑜、陈晓东、陈建、李俊、马玉水、孙文彬、罗际蔚、黄维、项亮、张明、何磊、张振兴、王志广、刘岩、吴永利、汪贤峰、张仲琳、徐敬铭、包瑾、刘旭彤。 起草单位 无锡邑文微电子科技股份有限公司、研微（江苏）半导 …