收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/EDASQUARE 010—2024 中文标题 光源-掩模联合优化数据输入格式规范 英文标题 Data structure for Source Mask Co-optimization 国际标准分类号 31.200 中国标准分类号 国民经济分类 I651 软件开发 发布日期 2024年09月21日 实施日期 2024年09月22日 起草人 沈逸江、孟晓东、施伟杰、沈忱、崔绍春、陈岚、陈容、董哲、张薇、林薇、 刘云举、刘娅琳、王亚丽。 起草单位 广东工业大学、全芯智造技术有 …