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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CASME 1828—2024 |
| 中文标题 | 原子层镀膜设备 |
| 英文标题 | Atomic layer deposition equipment |
| 国际标准分类号 | 25-010 |
| 中国标准分类号 | J 70 |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2024年12月20日 |
| 实施日期 | 2024年12月30日 |
| 起草人 | 石磊、刘生忠、丁黎明、阮泽云、谢东、李世彬、刘亚峰、邓士锋、袁世豪、鲁林峰、魏展画、王明华、严克友、徐征、马昌期、骆群、杜敏永、肖作、曹越先、左传天、赵长海、张 文君、谢立强、田成波、杨甫、许桂英、陈熙宁、陈德明、臧志刚、胡芹、尹海鹏、唐群委、王华昕、赵双易、陈坤、孙阳、段加龙、赵媛媛、吕键、梁素霞、安文珍、尧辉龙、梁磊、马显、陈雅琪、李云飞、郭靖、何春流 |
| 起草单位 | 杭州众能光电科技有限公司、中国科学院大连化学物理研究所、国家纳米科学中心、福莱特玻璃集团股份有限公司、杭州柯能新能源有限公司、浙江制能科技有限公司、苏州尚柔新能源有限公司、成都电子科技大学、东方日升新能源股份有限公司、上海安普态新能源有限公司、华侨大学、杭州炬晟光能科技有限公司、华南理工大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、重庆大学、中国科学技术大学、晶澳（扬州）太阳能科技有限公司、山东科技大学 |
| 范围 | 本文件适用于原子层镀膜设备。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了原子层镀膜设备的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存内容。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国中小商业企业协会 |
| 登记证号 | 50001136-3/社证字第3320号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 杨斐 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区航空胡同32号 | 邮编 : 100035 |
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