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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/EDASQUARE 009—2024 |
| 中文标题 | 后OPC结果校验软件输出数据格式规范 |
| 英文标题 | Post OPC verification software output data structure specification |
| 国际标准分类号 | 31.200 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | I6520 集成电路设计 |
| 发布日期 | 2024年09月21日 |
| 实施日期 | 2024年12月22日 |
| 起草人 | 李思坤、钟政、孟晓东、施伟杰、陈钊、沈忱、周洁云、刘晓明、沈逸江、林薇、温松辑、王琦、陈岚、王亚丽。 |
| 起草单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院微电子研究所、上海概伦电子股份有限公司、全芯智造技术有限公司、东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司、苏州培风图南半导体有限公司、墨研计算科学（南京）有限公司、深圳市海思半导体有限公司、北京华大九天科技股份有限公司、广东工业大学。 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了OPC结果仿真验证软件建模的输出数据格式。
本文件适用于晶圆制造领域，包括晶圆制造厂（涵盖存储和逻辑芯片制造）本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自0.18um技术节点开始，以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次。随技术节点推进，标准需要涵盖更多技术要素。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 上海电子设计自动化发展促进会 |
| 登记证号 | 51310000MJ4905543H | 发证机关 | 上海市民政局 |
| 业务范围 | 开展电子设计自动化及相关领域的调查研究，技术创新，编辑出版，标准制定，测试评价，培训与交流，展览展示，承接相关委托事项。（涉及行政许可的，凭许可证开展业务） |
| 法定代表人/负责人 | 郑云升 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 上海市浦东新区龙东大道3000号1幢裙房217-08室 | 邮编 : 201203 |
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