T_WHQASA 12—2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座-团体标准
目录
| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/WHQASA 12—2024 |
| 中文标题 | 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座 |
| 英文标题 | lower heating susceptor products of 10.5G chemical vapor deposition equipment |
| 国际标准分类号 | 71.120.99 其他化工设备 |
| 中国标准分类号 | G92 |
| 国民经济分类 | C352 化工、木材、非金属加工专用设备制造 |
| 发布日期 | 2024年12月30日 |
| 实施日期 | 2024年12月30日 |
| 起草人 | 司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽 |
| 起草单位 | 芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。 本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付。 |
| 主要技术内容 | 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 要求 5 试验方法 6 检验规则 7 标志和随行文件 8 包装、运输和贮存 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 | |||
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| 团体名称 | 芜湖市质量与标准化协会 | ||
| 登记证号 | 513402007627794012 | 发证机关 | 芜湖市民政局 |
| 业务范围 | 提供质量信息、管理、标准化体系及业务培训和咨询等服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 潘燕龙 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 芜湖市鸠江区万春西路20号 | 邮编 : 241000 | |