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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZJL 0025—2024 |
| 中文标题 | 半导体晶圆棒用锯切线电镀金刚石自动化生产装备 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 25.220.01 表面处理和镀涂综合 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2024年12月26日 |
| 实施日期 | 2025年01月20日 |
| 起草人 | 邵树锋、黄 炜、徐金宝、吕忠光、严兴朝、杜锡勇、王太信、王华峰、唐艳同、傅沈骁、郑小腾、张国富、余焕伟、陈 卫 |
| 起草单位 | 浙江工业职业技术学院、绍兴市特种设备检测院、浙江零轴智能装备有限公司、泉州联合新材料科技有限公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体晶圆棒用锯切线电镀金刚石自动化生产装备的型号规格、结构与基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安装。
本文件适用于基线线径不大于0.210 mm的半导体晶圆棒用锯切线电镀金刚石自动化生产装备的生产与制造。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 浙江省机械工业联合会 |
| 登记证号 | 51330000501876780D | 发证机关 | 浙江省民政厅 |
| 业务范围 | 行业协调、政策咨询、交流培训 |
| 法定代表人/负责人 | 谢平 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 杭州市大学路高官弄9号科研信息楼503 | 邮编 : 310009 |
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