T_CEPEA 0201—2023 电容薄膜真空计-团体标准
目录
标准详细信息 | |
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标准状态 | 现行 |
标准编号 | T/CEPEA 0201—2023 |
中文标题 | 电容薄膜真空计 |
英文标题 | Capacitance diaphragm gauge |
国际标准分类号 | 23.160 |
中国标准分类号 | |
国民经济分类 | C401 通用仪器仪表制造 |
发布日期 | 2025年01月22日 |
实施日期 | 2025年02月15日 |
起草人 | 张锋、栗晓、高建强、刘建、杨宝立、王在林、闫方亮、刘紫洋 |
起草单位 | 北京华丞电子有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、一道新能源科技股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司 |
范围 | |
主要技术内容 | 本标准主要规定了采用薄膜电容测量原理的电容薄膜真空计的术语和定义、结构和分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存要求,主要技术内容包括: ——预热时间、量程、分辨力、准确度、漏率等基本性能指标要求; ——电磁兼容方面的要求; ——各项性能指标对应的试验方法以及检验规则等要求。 |
是否包含专利信息 | 否 |
标准文本 | 不公开 |
团体详细信息 | |||
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团体名称 | 中国电子专用设备工业协会 | ||
登记证号 | 51100000500005588Q | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
业务范围 | 行业自律 信息交流 业务培训 国际合作 咨询服务 | ||
法定代表人/负责人 | 赵晋荣 | ||
依托单位名称 | |||
通讯地址 | 北京市海淀区复兴路49号 | 邮编 : 100036 |