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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CIET 1104—2025 |
| 中文标题 | 晶圆清洗设备技术规范 |
| 英文标题 | |
| 国际标准分类号 | 71.120.10 反应容器及其组件 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2025年03月19日 |
| 实施日期 | 2025年03月19日 |
| 起草人 | 贺斌、聂羽、吴清、杨善、华斌、宋昌万、梁彦桂、李高飞、叶曲波、罗中平、徐菖松、刘岩、吴永利、汪贤峰、李泰、徐敬铭、包瑾、田添。 |
| 起草单位 | 盛美半导体设备（上海）股份有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、深圳洁盟技术股份有限公司、苏州智程半导体科技股份有限公司、拓思精工科技（苏州）有限公司、深圳市金泰瀛环保设备有限公司、科立盈智能装备科技（广州）有限公司、思恩半导体科技（苏州）有限公司、常熟市兆恒众力精密机械有限公司、通标中研标准化技术研究院(北京)有限公司、途邦认证有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了晶圆清洗设备的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于晶圆清洗设备。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了晶圆清洗设备的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于晶圆清洗设备。
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| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国国际经济技术合作促进会 |
| 登记证号 | 51100000500012876L | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 理论研究 技术交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 杨连子 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市通州区经海五路1号院45号楼1层5-101 | 邮编 : 101111 |
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