收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CITS 267—2025 |
| 中文标题 | 中频磁控溅射电源技术要求 |
| 英文标题 | Technical requirements of medium frequency magnetron sputtering power supply |
| 国际标准分类号 | 29.200 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C382 输配电及控制设备制造 |
| 发布日期 | 2025年02月19日 |
| 实施日期 | 2025年02月19日 |
| 起草人 | 刘力、徐梁格、曾旭初、冯红涛、魏智博、张斌、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、王艳杰、徐敬铭、包瑾、陈致杭。 |
| 起草单位 | 固赢科技（深圳）有限公司、哈尔滨工业大学、成都众鑫达科技有限公司、深圳市三束镀膜技术有限公司、苏州精新汇能电源科技有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司。 |
| 范围 | 本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了中频磁控溅射电源的技术参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于中频磁控溅射电源的设计、生产、检验和使用。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国检验检测学会 |
| 登记证号 | 51100000088551172E | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 理论研究 专业培训 国际合作 咨询服务 展览展示 |
| 法定代表人/负责人 | 夏扬 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市朝阳区麦子店街22号楼 | 邮编 : 100125 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。