收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。
| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CSA 093—2024 |
| 中文标题 | MOCVD设备 气体管路加热系统 技术规范 |
| 英文标题 | MOCVD equipment—Gas Line Heating System—Technical specification |
| 国际标准分类号 | 21.020 |
| 中国标准分类号 | K91 |
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 |
| 发布日期 | 2024年11月21日 |
| 实施日期 | 2024年11月21日 |
| 起草人 | 汪国元、郭世平、金文彬、姜勇、徐圆圆、余湛、刘建明、朱佰喜、陈兆营、涂逵、陈福鸽、刘强、胡国新、陆文强、李本亮、徐苏楠。 |
| 起草单位 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司、中关村半导体照明联合创新重点实验室、厦门三安光电有限公司、东莞市志橙半导体材料有限公司、北京大学、晶能光电股份有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、中国科学院半导体研究所、中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国计量大学、广东省东莞市质量监督检测中心。 |
| 范围 | 本文件规定了MOCVD设备气体管路加热系统（以下简称“气体加热系统”）的技术要求和试验方法。
本文件适用于气体加热系统的研发、制备、测试分析及其评价。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了MOCVD设备气体管路加热系统（以下简称“气体加热系统”）的技术要求和试验方法。
本文件适用于气体加热系统的研发、制备、测试分析及其评价。
|
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟） |
| 登记证号 | 0011820 | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 组织半导体照明技术研发及推广应用；开展技术咨询、专利服务、专业培训和信息服务；制定技术标准，开展检测、认证；承接政府委托；开展国际交流与合作。 |
| 法定代表人/负责人 | 阮军 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市海淀区清华东路甲35号中科院半导体所5号楼5层 | 邮编 : 100083 |
收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。