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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/SDAMA 008—2025 |
| 中文标题 | 碳化硅陶瓷晶舟 |
| 英文标题 | Silicon carbide ceramic wafer boat |
| 国际标准分类号 | 81.060.30 高级陶瓷 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | C307 陶瓷制品制造 |
| 发布日期 | 2025年03月17日 |
| 实施日期 | 2025年03月17日 |
| 起草人 | 王明峰、王东、石金旺、毕见强、周强、赵佳彬、高惠、李伟强、石威、尹东胜、龚红宇、王伟礼、孙国勋、韩桂芳、郝文虎、崔伟、李补忠、刘爱伟、王克、周健华、王改云 |
| 起草单位 | 山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东圣诺实业有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、山东依莱特硅业有限公司、山东省新材料产业协会 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。
本文件适用于应用于半导体集成电路（IC）制程，使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 山东省新材料产业协会 |
| 登记证号 | 51370000MJD634321N | 发证机关 | 山东省民政厅 |
| 业务范围 | 产业调研，理论研究，技术研发，标准规范制定，技术和成果推介，数据收集和分析，业务培训、会议、咨询服务，承接政府购买服务。 |
| 法定代表人/负责人 | 周传健 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 山东省济南市历下区经十路17923号 | 邮编 : 250061 |
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