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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZGCIT 029—2025 |
| 中文标题 | 工业MEMS测试平台建设规范 |
| 英文标题 | Construction Specification for Industrial MEMS Testing Platform |
| 国际标准分类号 | 31.200 |
| 中国标准分类号 | |
| 国民经济分类 | I6520 集成电路设计 |
| 发布日期 | 2025年03月15日 |
| 实施日期 | 2025年03月20日 |
| 起草人 | 方续东、李维、李维平、李宗伟、赵继聪、陈振、罗定稳、吴岱璇、张仲恺、兰之康、熊兴崟、孙海燕、王河清、陈天平、李方浩、任雪雯、姜一平、邓杨、张诚、陈志文、舒朝玺、唐朝阳、李俊、常洪龙、严宇超、余建宏、吴涛、崔艳。 |
| 起草单位 | 西安交通大学、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、南京高华科技股份有限公司、中国科学院地质与地球物理研究所、南通大学、广电计量检测集团股份有限公司、保定开拓精密仪器制造有限责任公司、中国计量大学、深圳市正宇兴电子有限公司、武汉大学、江苏联康信息股份有限公司、西北工业大学宁波研究院、余姚市永创电磁阀有限公司、上海科技大学。 |
| 范围 | 本文件规定了工业MEMS测试平台（以下简称平台）的建设要求、核心组成、测试要求等内容。
本文件适用于工业类MEMS器件的基础性测试、验收工作。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了工业MEMS测试平台（以下简称平台）的建设要求、核心组成、测试要求等内容。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中关村智能科技发展促进会 |
| 登记证号 | 51110000MJ0119887W | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展智能科技领域的学术研究、学术交流、咨询培训、技术研发、成果转化、会议会展、承办委托、国际交流。 |
| 法定代表人/负责人 | 崔艳 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区西直门南大街2号18层18s | 邮编 : 10035 |
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