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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ACCEM 612—2025 |
| 中文标题 | 高端石英空白掩模版及工艺装备 |
| 英文标题 | High-end quartz blank mask and process equipment |
| 国际标准分类号 | 31.120 |
| 中国标准分类号 | L 90 |
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 |
| 发布日期 | 2025年07月10日 |
| 实施日期 | 2025年08月08日 |
| 起草人 | 杨伟、张小林、王波、宋影松、杨鹏、察兴岭 |
| 起草单位 | 成都中科卓尔智能科技集团有限公司、成都绛溪未来光电科技有限公司、中导微半导体科技（北京）有限责任公司 |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件规定了高端石英空白掩模版及相关工艺装备的术语和定义、工艺装备、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。
本文件适用于由石英基板、低反射率Cr膜和光刻胶层组成的掩模版。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国商业企业管理协会 |
| 登记证号 | 社证字第3347号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业管理、信息交流、业务培训、展览展示、书刊编辑、国际合作、咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 刘育才 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市复兴门内大街45号 | 邮编 : 100801 |
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