收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CIET 1177—2025 中文标题 微波等离子体化学气相沉积系统性能要求及测试方法 英文标题 国际标准分类号 71.040.01 分析化学综合 中国标准分类号 国民经济分类 M731 自然科学研究和试验发展 发布日期 2025年04月16日 实施日期 2025年04月16日 起草人 吴永利、季宇、王宏兴、王少鹏、刘文科、王艳丰、张龙辉、刘岩、汪贤峰、贾国蕊、徐敬铭、包瑾。 起草单位 通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、成都沃特塞恩电子技术有限公司、西安交通大学、欣 …