收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/CIET 1151—2025 中文标题 芯片制造用离子注入设备技术规范 英文标题 国际标准分类号 31.080.01 半导体器分立件综合 中国标准分类号 国民经济分类 C397 电子器件制造 发布日期 2025年04月09日 实施日期 2025年04月09日 起草人 聂翔、钟新华、刘仁杰、张丛、李更兰、彭强祥、田龙、谢均宇、陈祥龙、张蕊、姜维世、卓祖亮、刘岩、吴永利、汪贤峰、张仲琳、徐敬铭、包瑾、鲁家辉。 起草单位 青岛思锐智能科技股份有限公司、艾恩（山东）半导体科技有限公 …