收录自团体标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该团体标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准详细信息 标准状态 现行 标准编号 T/HEBQIA 370—2025 中文标题 600W准分子激光器技术规范 英文标题 国际标准分类号 31.260 中国标准分类号 国民经济分类 C397 电子器件制造 发布日期 2025年04月24日 实施日期 2025年04月24日 起草人 杨礼昭，郭朱，张耀，宋高峰，王帆帆，李俊峰。 起草单位 深圳盛方科技有限公司，深圳市大族半导体装备科技有限公司，云谷（固安）科技有限公司。 范围 本文件适用于600W准分子激光器的设计、制造、检验和使用。 主要技术内容 本文件规定 …