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| 标准详细信息 |
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| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CASME 1953—2025 |
| 中文标题 | 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品 |
| 英文标题 | Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment |
| 国际标准分类号 | 83.140.50 密封件 |
| 中国标准分类号 | G 43 |
| 国民经济分类 | C291 橡胶制品业 |
| 发布日期 | 2025年03月21日 |
| 实施日期 | 2025年04月21日 |
| 起草人 | 刘韬、徐丹、刘雪莲 |
| 起草单位 | 江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司 |
| 范围 | 本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 查看 |
| 团体详细信息 |
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| 团体名称 | 中国中小商业企业协会 |
| 登记证号 | 50001136-3/社证字第3320号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 杨斐 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区航空胡同32号 | 邮编 : 100035 |
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