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| 标准详细信息 |
|---|
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CASME 2000—2025 |
| 中文标题 | 半导体外延用碳化硅涂层石墨基座技术规范 |
| 英文标题 | Technical Specification for Silicon Carbide Coated Graphite Substrate for Semiconductor Epitaxy |
| 国际标准分类号 | 29.045 |
| 中国标准分类号 | H 80 |
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 |
| 发布日期 | 2025年06月06日 |
| 实施日期 | 2025年07月06日 |
| 起草人 | 余盛杰、廖家豪、窦坤鹏、赵世贵、杨波、朱刚、李江涛、盛后泉、杨捷、孙威、邓南军、丁雄杰、刘薇、朱亦辉、刘涛涛 、李庆甲、杨延辉、陈闻杰、李华、任国静、张亚栋 |
| 起草单位 | 湖南德智新材料股份有限公司、成都方大炭炭复合材料股份有限公司、江苏宏基高新材料股份有限公司、湖南泰坦未来科技有限公司、广东天域半导体股份有限公司、安徽凯威半导体科技有限公司、河南锐瓷科技有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、内蒙古京航特碳科技有限公司、广东精瓷新材料有限公司、通标国华标准技术咨询（北京）有限公司、华兴中科标准技术（北京）有限公司 |
| 范围 | 本文件适用于以高纯等静压石墨为基材，经加工、纯化、化学气相沉积、表面处理、清洗等工艺过程制备的超高纯半导体外延用碳化硅石墨基座制品。 |
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体外延用碳化硅涂层石墨基座的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、运输和贮存等内容。 |
| 是否包含专利信息 | 否 |
| 标准文本 | 不公开 |
| 团体详细信息 |
|---|
| 团体名称 | 中国中小商业企业协会 |
| 登记证号 | 50001136-3/社证字第3320号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 |
| 法定代表人/负责人 | 杨斐 |
| 依托单位名称 | |
| 通讯地址 | 北京市西城区航空胡同32号 | 邮编 : 100035 |
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